欧盟委员会2月9日宣布，欧盟在比利时微电子研究中心（IMEC）启动了规模最大的芯片法案试点生产线NanoIC，该设施总投资达25亿欧元，其中欧盟拨款7亿欧元，各国及地区政府投资7亿欧元，其余资金由ASML等行业伙伴共同注资。作为欧洲首家部署最先进极紫外光刻设备的设施，NanoIC专注于2纳米以下工艺的芯片设计与制造。
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悦来网官网 芯片法案试点生产线NanoIC启动 欧盟向其拨款7亿欧元
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